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TY10ET4000微細形狀測定儀ZX21

TY10

ET4000微細形狀測定儀

ZX21
ET4000微細形狀測定儀
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產(chǎn)品描述技術(shù)方案相關(guān)儀器最新上架商品咨詢使用評價
產(chǎn)品描述：

KOSAKA ET 4000 基于 Windows XP 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET4000 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。前制程機臺(如曝光機、濺鍍機、蝕刻機)best  recipe 找尋。例如:PVD、CVD、DLC 真空濺鍍薄膜臺階、應(yīng)力測定及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺階量測。最主要是觸針形狀不同，ET(俗稱 Alpha-step)是 R2um/60度鉆石制、AFM  是蝕刻制，故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都 OK，差異是有些細微表面 ET掉不進去，故nm以下的表面粗度則以 AFM 為主。


技術(shù)參數(shù)：

KOSAKA ET 4000 基于 Windows XP 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET4000 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。前制程機臺(如曝光機、濺鍍機、蝕刻機)best  recipe 找尋。例如:PVD、CVD、DLC 真空濺鍍薄膜臺階、應(yīng)力測定及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺階量測。最主要是觸針形狀不同，ET(俗稱 Alpha-step)是 R2um/60度鉆石制、AFM  是蝕刻制，故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都 OK，差異是有些細微表面 ET掉不進去，故nm以下的表面粗度則以 AFM 為主。


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